Согласно официальному заявлению ASML, лицензии на поставку литографических систем NXT:2050i и NXT:2100i были отозваны в 2023 году, но беспокоиться не о чем.По данным ASML, накопившиеся заказы на DUV, предоплаченные клиентами из материкового Китая, в основном будут доставлены в 2023 году (относительно того, сможет ли это продолжиться в 2024 году, ASML ранее заявляла, что не может быть уверена).
Фактически, в 2023 году ASML поставляла китайским клиентам литографические машины, включая NXT:2000i и более совершенные модели DUV, а такжеВ основном доставлено накопившееся количество заказов на DUV, оплаченных клиентами в материковом Китае..
Что касается передовых машин EUV-литографии, таких как 7 и 14 нм, ASML до сих пор не может продавать их китайским клиентам.
Согласно информации, предоставленной официальным сайтом ASML, в настоящее время компания предлагает в продаже три основных продукта для иммерсионной литографии DUV, а именно: TWINSCANNXT:1980Di, TWINSCANNXT:2000i и TWINSCANNXT:2050i.
На официальном сайте ASML представлен TNXT:1980Di. По разрешению написано, что оно больше или равно 38нм (может поддерживать около 7нм), и это относится к разрешению одной экспозиции. Фактически, литографическая машина может выполнять многократную экспозицию.